在許多的高純凈氣體(99.999%)的應用場合如半導體行業(yè),為了滿足現(xiàn)場高純氣使用的要求,可用Pura在線露點儀測量殘留的微量水分,這一數(shù)據(jù)是 為為關鍵的參數(shù)。在實際應用中測量水分含量是非常困難的,因為期間需要使用復雜的濕度分析儀或昂貴分析技術?,F(xiàn)在,密析爾給市場帶來Pura在線露點儀出廠時就可隨時安裝使用,測量露點低可測達-120°C(相當于<1ppm)。Pura露點變送器匯集了密析爾生產(chǎn)和校驗阻抗露點變送器方面的經(jīng)驗和專業(yè)知識,并結(jié)合了工業(yè)標準選材和制造工藝,使之成為 款適用于大規(guī)模集成半導體制造工廠及高純凈氣體行業(yè)中的低價位露點變送器。
針對半導體用戶,Pura在線露點儀可以提供兩種任意可選的配置與用戶的設備結(jié)合。樸若PuraOEM:結(jié)構(gòu)與樸若Pura優(yōu)阻Premium一樣,均為冷拉不銹鋼結(jié)構(gòu)和0.1~0.2μmRa鐳 電鍍拋光。不同的是不具有100 *潔凈指標,僅為單層包裝樸若Pura變送器:同樸若PuraOEM,但無流體通過外殼。樸若Pura 變送器出廠帶有1/2”VCR 連接口,如下圖所示。同時配有運輸保護裝置用以保護變送器表面。工作時必須把該保護裝置拆除,以便在使用時達到大反應速度以及小體積采樣室??商峁┰诿芪鰻杺魉惯~特本安型Transmet IS露點變送器基礎上設計的樸若本安型PuraIS,其輸出只有4~20mA。
Pura在線露點儀亮點
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩(wěn)定,重復性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設計緊湊小巧
顯示/報警單元可選
Pura在線露點儀技術指標
傳感器
傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力 低 10-9 torr; 大 24 MPa
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
Pura在線露點儀電氣
電源 通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)
大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài) 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能
傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作
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密析爾儀表引領 的水分和濕度(露點儀)測量領域。本公司具備超過30年的專業(yè)經(jīng)驗,設計和生產(chǎn)多種變送器、儀表和系統(tǒng)解決方案,用來測量微量水分、濕度和露點,其工業(yè)應用領域十分廣泛,包括壓縮空氣、發(fā)電、過程處理、油氣、制藥等等。 密析爾儀表擁有三個生產(chǎn)基地:荷蘭Oosterhout,法*里昂和英*伊利。公司擁有一個廣泛的網(wǎng)絡,工廠 培訓應用工程師,分公司和經(jīng)銷商人員遍布56個 。
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